潔凈室內(nèi)空間的溫濕度主要是依據(jù)加工工藝規(guī)定來明確，但在考慮加工工藝規(guī)定的標準下，應充分考慮人的舒適感感。伴隨著氣體潔凈度等級規(guī)定的提升 ，出現(xiàn)了加工工藝對溫濕度的規(guī)定也愈來愈嚴的發(fā)展趨勢，因為加工精度愈來愈細致，因此 對溫度起伏范疇的規(guī)定愈來愈小。比如在規(guī)模性集成電路芯片生產(chǎn)制造的光刻技術曝出加工工藝中，做為掩膜板原材料的夾層玻璃與單晶硅片的線膨脹系數(shù)的差規(guī)定愈來愈小。

凈化車間潔凈室中的溫濕度設置:

環(huán)境濕度過高造成的難題大量。空氣濕度超出55%時，冷卻循環(huán)水壁厚上面冷凝水，假如產(chǎn)生在精細設備或電源電路中，便會造成各種各樣安全事故?？諝鉂穸仍?0%的時候容易銹蝕。除此之外，環(huán)境濕度太高時將根據(jù)空氣中的水分把單晶硅片表層黏著的塵土有機化學吸咐在表層耐無法消除。空氣濕度越高,黏附的難除掉，但當空氣濕度小于30%時，又因為靜電感應力的作用使顆粒也非常容易吸咐于表層，另外很多半導體元器件非常容易產(chǎn)生穿透。針對單晶硅片生產(chǎn)制造好溫度范圍為35—45%。

身體舒適度一般與下述要素相關：氣體溫度環(huán)境濕度，吹過身體的氣體速率，所屬室內(nèi)空間內(nèi)各種各樣外表溫度，人的主題活動抗壓強度，生活方式，服裝狀況，年紀性別等。

所述幾類不一樣要素的組成能夠給人一種同樣的熱冷覺得即舒適度。在浩凈室中因為工作員都穿潔凈服，有時候還穿兩個那樣的工作服裝，而潔凈服一股是用滌綸、的確良等制作，透氣性能較弱，因此 潔凈定中覺得較舒服的溫濕度比一般自然環(huán)境的較低。因此 (氣體潔凈技術措施》提議除加工工藝規(guī)定外，凈化室溫度宜選用18—26度，相對性溫度則宜用40—60%,夏天取限制，冬天取低限。潔凈室內(nèi)空間的溫濕度主要是依據(jù)加工工藝規(guī)定來明確，但在考慮加工工藝規(guī)定的標準下，應充分考慮人的舒適感感。伴隨著氣體潔凈度等級規(guī)定的提升 ，出現(xiàn)了加工工藝對溫濕度的規(guī)定也愈來愈嚴的發(fā)展趨勢，因為加工精度愈來愈細致，因此 對溫度起伏范疇的規(guī)定愈來愈小。比如在規(guī)模性集成電路芯片生產(chǎn)制造的光刻技術曝出加工工藝中，做為掩膜板原材料的夾層玻璃與單晶硅片的線膨脹系數(shù)的差規(guī)定愈來愈小。凈化工程施工設計